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Nano I/2001

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Presseinformation Nano I/2001

Nano-CC-UFS auf der Messe "Materialica 2001" in München




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Optokoppler-Struktur auf einem Siliziumwafer auf der Basis blau-violetter Elektrolumineszenz
(Foto: Nano-CC-UFS)
 




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Präzisions-Röntgenspiegel für die Röntgendiffraktometrie, hergestellt mittels Puls-Laser-Abscheidung
(Foto: Fraunhofer IWS Dresden)

 

Ultradünne Schichten - Ein Schlüsselelement der Nanotechnologie

Ein Beispiel, welches das Nanotechnologie-Kompetenzzentrum "Ultradünne funktionale Schichten" (Nano-CC-UFS) auf dem Stand C1.137 auf der diesjährigen Messe "Materialica 2000" vom 01. - 04.10.2001 in München vorstellt, ist die Realisierung blauvioletter Elektrolumineszenz aus Silizium. Die Lichterzeugung erfolgt dabei aus nur wenigen Nanometer großen Germanium-Nanostrukturen, die in Siliziumdioxid eingebettet sind. Da der Herstellungsprozeß vollständig in herkömmlicher Siliziumtechnologie erfolgt, können derartige Lichtemitter direkt in bestehende Prozesse zur Chipherstellung integriert werden. Wissenschaftlern des Forschungszentrums Rossendorf bei Dresden ist es dabei gelungen, durch Optimierung dieser Lichtemitter einen Wirkungsgrad von 0,5% zu erreichen - ein Weltrekord für derartige Systeme. "Bereits bei elektrischen Strömen größer 250 nA kann das blauviolette Leuchten mit bloßem Auge wahrgenommen werden", erklärt Dipl.-Phys. Thoralf Gebel vom FZ Rossendorf. Und was das menschliche Auge sieht, ist für ein empfindliches elektrisches Empfängerbaulement erst recht erkennbar. Mit dem Aufbau von Emitter und Empfänger in einem Chip wurde am Forschungszentrum Rossendorf ein integrierter Optokoppler in Siliziumtechnologie realisiert und patentiert. Ein mögliches Einsatzgebiet könnte neben der optischen Informationsübertragung auch bei Anwendungen in biologischen Systemen liegen, da die eingesetzten Materialien vollkommen biokompatibel sind.

Die Rossendorfer Forscher wollen jedoch nicht auf dem Erreichten stehen bleiben, sondern planen seit längerer Zeit die weitere Vermarktung dieser Technologie. Das Potential dieser neuen Technologie ist riesig, so daß seit einiger Zeit an einer technologieorientierten Unternehmensgründung gebastelt wird. Vor einigen Monaten wurde die nanoparc GmbH i.G. extra dazu gegründet.

Ein weiteres Beispiel, welches wir in München präsentieren werden, ist die Großflächenabscheidung ultradünner röntgenoptisch aktiver Wechselschichten mit wenigen Nanometern Dicke. Diese werden derzeit als strahlformende Röntgenoptiken in stark wachsendem Maße in der Röntgenanalytik eingesetzt und kommen bereits seit 3 Jahren in Diffraktometern der Fa. Bruker AXS GmbH Karlsruhe zur Anwendung. Wie der Reflektor eines Autoscheinwerfers sammeln diese Spiegel die Röntgenstrahlung aus verschiedenen Richtungen auf und richten sie auf die Probe aus. Der Intensitätsgewinn ermöglicht es, die Meßzeiten zu verkürzen bzw. das Nachweisvermögen zu verbessern. Derzeit wird von den Forschern aus dem Fraunhofer-Institut für Werkstoff- und Strahltechnik IWS Dresden eine neue Anlagentechnik zur Beschichtung von Substraten mit Durchmessern bis zu 150 mm eingefahren. Sie versprechen sich davon eine Erweiterung der Einsatzmöglichkeiten der Röntgenoptiken im Hinblick auf Synchrotronanwendungen und Röntgenfluoreszenzanalyse.

Besuchen Sie uns auf der Messe "Materialica 2001" in München in Halle C1 Stand 137.


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im Fraunhofer IWS Dresden
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