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Institution
Technische Universität Chemnitz
Zentrum für Mikrotechnologien
Professur Opto- und Festkörperelektronik
Reichenhainer Straße 70
09126 Chemnitz
Postfach
09107 Chemnitz
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REM-Aufnahme eines Metallclusters zwischen zwei Kontaktspitzen
(Foto: TU Chemnitz)
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Ansprechpartner
Prof. Dr. Christian Radehaus
Tel.: 0371 - 53 13 086
Fax: 0371 - 53 13 004
Dr. Thomas Raschke
Tel.: 0371 - 53 13 080
Fax: 0371 - 53 13 004
für das Kompetenzzentrum relevante Arbeitsgebiete
- Neue Bauelemente
- SET- und Cluster-Strukturen
- Nanostrukturierung
- Elektronenstrahllithographie
eigene Nanotechnologie-Angebote: Schichtabscheidung
- Siliciumtechnologie
- CVD und PVD von Metall- und Isolatorschichten
- Clusterstrukturen von Metallen
eigene Nanotechnologie-Angebote: Schichtcharakterisierung
- Oberflächencharakterisierung (z.B. Topographie, Verbiegung, Rauheit, Spannung, Dicke)
- optische Meßverfahren (z.B. Reflexionsgrad, Brechungsindex, Dicke)
- elektrische Meßverfahren (z.B. Widerstand, Strom-Spannungs-Messung an Strukturen)
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