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Institution
Technische Universität Chemnitz
Institut für Physik
Gemeinsame Forschungsgruppe der Professuren Technische Physik und Physik fester Körper
Postfach
09107 Chemnitz
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Ansprechpartner
Prof. Dr. Frank Richter
Tel.: 0371-5318046
Fax: 0371-5313042
für das Kompetenzzentrum relevante Arbeitsgebiete
- Grundlagenuntersuchungen an Abscheideprozessen
- superharte dünne Schichten (ta-C,CNx,c-BN)
- dünne Schichten für optische Anwendungen
eigene Nanotechnologie-Angebote: Schichtabscheidung
- Arc-Verdampfung (gefiltert) + Ionenstrahlquelle
- Magnetronsputtern
- µW-PACVD (plasma activated chemical vapour deposition)
eigene Nanotechnologie-Angebote: Schichtcharakterisierung
- In-situ-Prozeßdiagnostik: quadrupole mass spectrometry / cylindrical mirror analyzer, optical emission spectroscopy, laser induced fluorescence, Langmuir probe technique
- Nanointender + Modellrechnung, atomic force microscopy, Schichtspannungen
- cross-section transmission electron microscopy, electron diffraction, electron energy loss spectroscopy, Raman, Fourier-transformed infrared spectroscopy, x-ray diffraction, eleastic recoil diffraction analysis, Rutherford backscattering spectroscopy, X-ray photoelectron spectroscopy, ...
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