Ansprechpartner

Dr. Guido Bösker
Tel.: 0231 - 97 50 00 29
Fax: 0231 - 97 50 00 5

für das Kompetenzzentrum relevante Arbeitsgebiete

• Lithographie, Elektronenstrahllithographie (lithography, e-beam lithography, EBL)
• Rasterelektronenmikroskopie, REM (scanning electron microscopy, SEM)
• Fehleranalyse (defect review)
• Metrologie (metrology)

eigene Nanotechnologie-Angebote: Schichtabscheidung

• Nanostrukturierung lateral (mit Hilfe EBL) (nanostructure)
• 3D-Nanostrukturierung (mit Hilfe EBL)

eigene Nanotechnologie-Angebote: Schichtcharakterisierung

• Rasterelektronenmikroskopie
• Metrologie