Ansprechpartner

Dr. Timo Stuffler
Tel.: 089-72495118
Fax: 089-72495291
Dr. Volker Klein
Tel.: 089-72495147
Fax: 089-72495291

für das Kompetenzzentrum relevante Arbeitsgebiete

• örtliche Manipulation der Plasmaparameter im Reaktor
• Betrieb modifizierter Niedertemperaturplasma-Reaktoren
• Wachstumsprozesse in Plasmareaktoren

eigene Nanotechnologie-Angebote: Schichtabscheidung

• gezielte Deposition von Nanoclustern oder Mikroteilchen