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Institution
Hitachi High-Technologies Europe GmbH Europark Fichtenhain A12 47807 Krefeld
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Ansprechpartner
Dr. Roland Schmidt Tel.: 02151 - 64 35 313 Fax: 02151 - 64 35 64 300
für das Kompetenzzentrum relevante Arbeitsgebiete
- Probenpräparation
- Schichtcharakterisierung
eigene Nanotechnologie-Angebote: Schichtcharakterisierung
- hochauflösende Rasterelektronenmikroskopie mit dem Hitachi FE-REM S-5200 (Auflösung 0,5 nm bei 30 kV bzw. 1,8 nm bei 1 kV)
- Präparation von TEM-Folien mit dem Hitachi Focused Ion Beam System FB-2000A
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