Nano-CC-UFS
Mitglieder des Kompetenzzentrums (extern)
Porträt 25
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Institution
Fraunhofer-Institut für Zerstörungsfreie Prüfverfahren, Saarbrücken (IZFP)
Institutsteil Dresden
Maria-Reiche-Str. 2
01109 Dresden
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Ansprechpartner
Prof. Dr. Jürgen Schreiber
Tel.: 0351-88815-510
Fax: 0351-88815-509
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für das Kompetenzzentrum relevante Arbeitsgebiete
- Zerstörungsfreie Analytik
- Ionenstrahlgestützte Schichtherstellung und -bearbeitung mit Hilfe der Ionenfeinstrahlanlage (FIB) der Fa. Orsay Physics
eigene Nanotechnologie-Angebote: Schichtabscheidung
- Abtragen durch Sputtern, gezieltes Dotieren, Abscheiden vpn Leitbahnen und W-Metallisierungen mit der FIB
eigene Nanotechnologie-Angebote: Schichtcharakterisierung
- Topographieaufnahmen mit verschiedenen Arbeitsregimen (Kontakt-, Tapping-Mode) des Rasterkraftmikroskops und Ermittlung mechanischer, elektrischer und magnetischer Eigenschaften (Nanoindentation, LFM, EFM, MFM, AFM gekoppelt mit Ultraschall)
- FIB-Imaging mit Ionen- und REM-Säule, Schichtanalyse durch Zielpräparation
- Hochauflösende Röntgendiffraktometrie (spiegelnde und nichtspiegelnde Reflektometrie, Spannungsanalyse, GID-Phasenanalyse, Rocking-Kurven, TXRF), auch bei thermomechanischer Last
Reflektometrie-Kurve einer 100 nm Ta-Barriereschicht auf Si, die mit 1x1017 N+/cm² implantiert wurde.
blau - Messwerte, grün - Schicht mit folgendem Modellaufbau:
0.7 nm TaON-Oberflächenschicht (Dichte - 11,6 g/cm3; RMS-Rauhigkeit - 0,9 nm),
ca. 2.2 nm TaN-Zwischenschicht (9.3, 0.8),
102 nm TaN-Hauptschicht (16.1, 0.6),
ca. 2.5 nm TaNSi-Übergangsschicht (7.2, 0.8) auf Si-Substrat (2.3, 0.6).
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