für das Kompetenzzentrum relevante Arbeitsgebiete

• Herstellung und Charakterisierung ultradünner Schichten:
• Amorphe Kohlenstoff-Schichten
• Metallschichten
• Oxid- und Nitridschichten
• Galvanische Nanokomposite
• Primäre Schichtfunktionen:
• Adhäsion und Dehäsion
• Reibminderung und Verschleißschutz
• Korrosionsschutz

eigene Nanotechnologie-Angebote: Schichtabscheidung

• Niederdruck-Plasma-CVD
• Hohlkathodenverfahren (Grobvakuum)
• Barriere-Entladung
• Flammenbehandlung
• Gasphasenmodifizierung

eigene Nanotechnologie-Angebote: Schichtcharakterisierung

• Rastertunnel- und Rasterkraftmikroskopie (STM/AFM): Dreidimensional topographische Abbildung mit Angströmauflösung, Rauhigkeiten, Oberflächenstrukturen
• Nanoindentierung: Bestimmung von Härte und Elastizitätsmodul von ultradünnen Schichten >= 10nm mit lateraler Auflösung <= 500 nm.
• Nanotribologie: Bestimmung von Reibung, Verschleiß und Scratchfestigkeit an ultradünnen Schichten und mit lateraler Auflösung < 1 µm.
• Elektronenstrahl-Mikrosonde (EPMA): quantitative, chemische Elementanalyse, laterale und vertikale Auflösung ca. 500nm, zerstörungsfreie Schichtdickenbestimmung von 5-500 nm.
• Sekundärionen-Massenspektroskopie (SIMS): quantitative, chemische Elementanalyse, laterale Auflösung < 1 µm , Tiefenauflösung 5-10 Nanometer. Quantitative Bestimmung von Wasserstoff, Spurenanalytik
• Ellipsometrie, UV-VIS-Spektrometrie: Schichtdickenbestimmung, optische Konstanten, etc.
• Oberflächenenergie: Benetzungsverhalten, Adhäsionseigenschaften von Oberflächen