Ansprechpartner

Heiko Menzel
Tel.: 0351 - 88 23 244
Fax: 0351 - 88 23 266

für das Kompetenzzentrum relevante Arbeitsgebiete

• Dielektrika (Ta₂O₅, Oxid-Nitrid-Schichtfolgen)
• Isolationsschichten (Polyimide, BCB)
• Si/SiGe/SiGeC-Schichtsysteme
• CMP

eigene Nanotechnologie-Angebote: Schichtabscheidung

• Dielektrische Schichten
• SiO₂ (CVD, thermische Oxidation, RTO)
• Si₃N₄ (LPCVD/PECVD)
• BCB
• Ta₂O₅ (Sputterung)
   
• Metallische Schichten
• Al, AlSiCu, AlCu, Ti, TiN, Ta, NiFe, Pt, Mo, Au, Cr, Ag
   
• Epitaktische Schichten
• n oder p-Epitaxie, SiGe, SiGeC

eigene Nanotechnologie-Angebote: Schichtcharakterisierung

• AFM
• Ellipsometer
• Spektrometer
• Schichtspannungsmessung
• Surfscan
• FTIR
• Röntgen Diffraktometer
• On-Wafer-Zuverlässigkeit (GOI, TVS, HF-CV, HF-Ct, CV-BTS, Elektromigration, SWEAT, Hot Carrier, Transistor BTS)