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Institution
Fraunhofer-Institut für Keramische Technologien und Sinterwerkstoffe (IKTS)
Winterbergstraße 28
01277 Dresden
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Topographie der Oberfläche (AFM-Aufnahme) einer Ti-Pt-Elektrode nach einer Temperaturbehandlung bei 700 °C an Luft. Die hellen Bereiche stellen TiO2-Erhebungen auf der Elektronenoberfläche mit einer mittleren Höhe von 8 nm dar (RMS-Wert der gesamten Oberfläche 2,8 nm).
(Bild: Fraunhofer IKTS Dresden)
Elektronenmikroskopische Querschnittsabbildung (TEM) einer Ti-Pt-Elektrode mit PZT-Dünnschicht und optimierter PZT/Pt-Grenzschicht nach Abscheidung
(Bild: Fraunhofer IKTS Dresden und IFW Dresden)
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Ansprechpartner
Dr. Andreas Schönecker
Tel.: 0351-2553508
Fax: 0351-2553605
für das Kompetenzzentrum relevante Arbeitsgebiete
- Synthese und Charakterisierung von dielektrischen, piezoelektrischen und ferroelektrischen Funktionswerkstoffen
- Untersuchung und Nutzung nanoskaliger Grenzschichten zur Steuerung der Mikrostruktur und der elektrischen Eigenschaften elektrokeramischer Dünnschichten (in Zusammenarbeit mit dem SFB 422 an der TU Dresden)
eigene Nanotechnologie-Angebote: Schichtabscheidung
Physikalische Schichtabscheidung (PVD)
- Modifizierung und Abtrag von Festkörperoberflächen durch physikalisches Ionenätzen
- Deposition von metallischen und oxidischen Dünnschichtelektroden durch Magnetronsputtern (HF und DC)
- Materialien: Ti, TiOx, Ir, IrOx und Pt
Chemische Schichtabscheidung (CSD)
- Deposition oxidischer Dünnschichten durch Aufschleudern flüssiger Precursoren und Tempern (Rapid Thermal Annealing), Möglichkeit der gezielten Dotierung
- Materialien: Pb(ZrxTi1-x)O3 (PZT), PbTiO3 (PT), Pb(Mg1/3Nb2/3)O3 (PMN), Pb1-xSrxTiO3 (PST) und Ba1-xSrxTiO3 (BST)
eigene Nanotechnologie-Angebote: Schichtcharakterisierung
- Topographische Abbildung von Oberflächen und nanoskaliger Strukturen mittels Rasterkraftmikroskopie (AFM)
- Hochauflösende Rasterelektronenmikroskopie (REM) elektrisch leitender und isolierender Proben mittels Feldemissions-REM kombiniert mit chemischer Analyse durch EDX
- Texturmessung von dünnen Schichten durch Orientierungsmessungen von Einzelkörnern über Elektronenbeugung (EBSD)
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