Ansprechpartner

Dipl.-Ing. Jens Hänel
Tel.: 0371 / 40 04 327
Fax: 0371 / 40 04 340

für das Kompetenzzentrum relevante Arbeitsgebiete

• Lasermaterialbearbeitung
• Mikrosystemtechnik

eigene Nanotechnologie-Angebote: Schichtabscheidung

• Herstellung von nm-Schichten mittels CVD-Verfahren

eigene Nanotechnologie-Angebote: Schichtcharakterisierung

• 3D-Strukturierungsmöglichkeiten im oberen nm-Bereich