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für das Kompetenzzentrum relevante Arbeitsgebiete
- Qualitätssicherung in der Nano-Analytik
- Herstellung und Zertifizierung von Referenzschichtsystemen und -materialien
- Mechanisch-technologische / physikalische Charakterisierung ultra-dünner Schichten
- Zerstörungsfreie Prüfung von Oberflächen und Schichtsystemen
- Oberflächen- und Mikrobereichsanalytik
- nationale und internationale Normung (fachliche Mitarbeit in div. Gremien von ISO, VAMAS, CEN, DIN, VDI, etc.)
eigene Nanotechnologie-Angebote: Schichtabscheidung
- PA CVD, PVD, Sol-Gel
- Puls-Laser-Deposition unter UHV-Bedingungen
- Pulslaser-Strukturierung, Photolithographie
- in der Fachgruppe VI.3 (Prof. Dr. J.F. Friedrich): Plasmapolimerisation
eigene Nanotechnologie-Angebote: Schichtcharakterisierung
- akustische Oberflächenwellenspektroskopie
- spektrale, winkelaufgelöste Ellipsometrie
- STM, AFM, REM/EDX
- Auger-Mikrosonde,
- TOF-SIMS (ab 6/2000)
- Small Spot ESCA
- ESCA (Nutzung von Synchrotronstrahlung an BESSY II wird vorbereitet)
- EXAFS, NEXAFS
- FT-IR (ATR), RAMAN,
- XRD mit streifendem Einfall
- div. Verfahren zur Messung von Schicht- und Oberflächeneigenschaften:
Topographie, Schichtdicke, Härte, E-Modul, Duktilität, Haftung, optische und elektrische Kennwerte, Temperaturstabilität (DTA), Korrosions- und Verschleißverhalten, etc.
- in der Fachgruppe VIII.1 (Prof. Dr. E. Santner): Nanotribologie
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