Ansprechpartner

Dr. Rainer Hammerschmidt
Tel.: 0 30 - 67 74 376
Fax: 0 30 - 67 75 718

www.bestec.de

für das Kompetenzzentrum relevante Arbeitsgebiete

• EUV-Lithographie
• Multilayer-Sputtering
• Nanometer-Meßtechnik
• UHV-STM-Anlagen

Eigene Nanotechnologie-Angebote: Schichtcharakterisierung:

• EUV-Reflektometrie
• UHV-STM-Anwendungen
• nanometergenaue Vermessung von Höhenprofilen