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Feldemissions-Rasterelektronenmikroskop jetzt auch für hochauflösende Untersuchungen nutzbar

Mit dem S-4800 stellt Hitachi erstmals ein Feldemissions-REM vor, das die überragenden Auflösungswerte und Stabilität eines "in-lens" FE-REMs mit den Vorzügen eines analytischen REMs vereinigt und somit auch an bis zu 200 mm großen Proben ultrahochauflösende Untersuchungen bis über 1000 000facher Vergrößerung ermöglicht.

Dabei wurde das bei der Entwicklung des "in-lens" REMs gewonnene "know-how" übernommen. Die mechanische Stabilität der Säuleneinheit wurde im Vergleich zum Vorgängermodell z. B. durch neu entwickelte passive Dämpfungselemente, eine neue Rahmenkonstruktion und durch zwei neue Probenbühnen mit erweiterten Verfahrmöglichkeiten wesentlich verbessert.

Weiterhin wurde das "Through-the-lens" Detektionssystem oberhalb der Objektivlinse um den Super ExB Filter erweitert. Dieser erlaubt die Differenzierung von in unterschiedliche Richtungen gestreuten BSE. Eine stärkere Anregung der Objektivlinse, die unter Einbeziehung der Informationstheorie neu berechnet wurde, führt zu kleineren Brennweiten und damit besseren Auflösungswerten, die mit denen eines In-Lens REMs vergleichbar sind. Während die garantierte Auflösung bei 15 kV mit 1 nm spezifiziert ist, können bei Beschleunigungsspannungen von 30 kV durchaus Auflösungswerte unterhalb von 1 nm erreicht werden. Bei 1 kV wird eine Auflösung von 2 nm garantiert.

Das S-4800 wird standardmäßig mit einem trockenen Vakuumsystem ausgerüstet. Der für die Ultrahochauflösung notwendige Kühlfinger minimiert Probenkontamination, die gerade bei hohen Vergrößerungen bzw. kleineren Rasterfeldern ohne Kühlfinger zu einem Problem werden kann.

Kontakt für weitere Informationen:

Hitachi High-Technologies Europe GmbH
Europark Fichtenhain A12
D-47807 Krefeld

Hr. Markus Wolf
Tel.: +49 (0) 21 51 64 35 - 313
Fax: +49 (0) 21 51 64 35 - 64 300
http://www.hht-eu.com


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