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Nano-Kompetenz für harte dünne Schichten

In verschiedenen Industriezweigen kann man einen steigenden Bedarf an ultradünnen Präzisionsschichten feststellen. Beispiele dafür sind Schutzschichten auf Mikroteilen und die Abscheidung dünner Funktionsschichten in der Mikroelektronik.

Der gefilterte Kathodenbogen ist einer der hoffnungsvollsten Kandidaten für industrielle PVD-Technologien in High-Tech-Anwendungen. Aktuell wurde in einer Industrieanwendung die Zahl der Droplets um ein Millionstel verringert im Vergleich zum ungefilterten Bogen. Das führt zu Schichten, die auf einer Fläche von einem Quadratzentimeter weniger als ein Teilchen haben, welches größer als ein Mikrometer ist. Dies ist gut genug für viele Beschichtungsanlagen, aber ungenügend für Anwendungen als Top-Coat auf Festplatten oder beim Füllen von Kupfergräben in Silizium bei der Herstellung von Leiterbahnen in der Halbleiterfertigung.

Die aktuellen Fortschritte beim gefilterten Hochstrompulsbogen (Filter-HCA) resultieren in einer nahezu kompletten Eliminierung der Droplets - bis auf einige 10-nm große Droplets pro Quadratzentimeter. Zur Fortsetzung dieser Entwicklungsperspektive des Fraunhofer IWS Dresden und zur kommerziellen Entwicklung der Quellen wurde im Januar 2004 ein neues Spin-off, die Arc Precision GmbH gegründet.

In Übereinstimmung mit den industriellen Anforderungen werden kompakte und hochproduktive Filterbogenquellen entwickelt, die in komplexe Systeme integriert werden können. Fokussiert auf Festplatten und die Abscheidung ultradünner Barriereschichten werden industrielle Filterbogenquellen und die Einführung dieser in die industrielle Fertigung angeboten.


Kontakt für weitere Informationen:

Arc Precision GmbH Dresden
Winterbergstaße 28
D-01277 Dresden

Dr. Peter Siemroth
Tel.: 0351 25 83 409
Fax: 0351 25 83 300
www.arcprecision.com


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